새로운 정보 바카라

　주식회사 바카라 이기는(본사:후쿠오카현 기타큐슈시)、대표 이사 사장:오가사와라 히로시)는、반도체 웨이퍼 이송용 클린 로봇의 새로운 라인업으로서、우리의AC서보 모터 'Σ-7시리즈」의 다이렉트 드라이브 모터를 채용한 클린 로봇 「SEMISTAR－GEKKO MD124D'를 판매합니다.

이것으로、종래 기종보다 고정밀도(위치 결정 정밀도 종래비2배)·저진동(종래 기종비1/6) 반도체 웨이퍼 반송 실현。아울러、작고 가볍고 구동 능력과 확장성을 높인 클린 로봇용 표준 컨트롤러SR200도 개발했습니다.SR200은 당사 클린 로봇 전반에 적용、클린 로봇의 성능을 최대한 발휘합니다。

　최근 스마트폰 바카라 사양 진화,IoT개발에 따른 데이터 센터의 고도화 및 통신 사양의 5G화 등 바카라 진화는 눈부신、이 바카라을 지원하는 큰 요소는 반도체입니다。반도체 바카라 혁신、제조 공정에서nm(나노미터) 수준의 미세화 바카라과 다층화 바카라로 이루어져 있습니다、이 진화에 기여하는 웨이퍼 이송을 위한 깨끗한 로봇이 필요합니다。

　예를 들면、지정한 위치에 고정밀도로 웨이퍼를 운반하고 싶다、웨이퍼에 스트레스를 가하지 않고 이전과 동일한 이송 매수를 안전하게 이송하고 싶습니다、다수의 웨이퍼를 수용하기 위해 좁은 피치 위치에도 웨이퍼를 반송하고 싶습니다、같은 요청이 있습니다。이런 고객의 요청에 부응하기 위해、보다 정확하고 저진동 클린 로봇을 개발했습니다。

기종 기종(SEMISTAR-MR124)에 비해、로봇 설치 및 이송 장치 레이아웃의 완전 호환성 실현(로봇 본체의 형상 유지)、절대 위치 정밀도(0.05mm^*1) 및 반복 위치 결정 정밀도(±0.025mm^*1)은2배로 향상되었으며 이송 시 핸드 진동(0.25G^*1、1G=9.8m/s²)도 크게 감소했습니다。이 성능을 달성하기 위해、로봇 팔에 감속기를 필요로 하지 않는 당사AC서보 모터 'Σ-7시리즈'의 다이렉트 드라이브(DD) 모터를 탑재한 구동 방식으로 합니다.

　아울러 판매하는 클린 로봇용 표준 컨트롤러 「SR200'는、우리의 표준 전기 바카라인 머신 컨트롤러(MP)를 채용하여 기존 기종비 체적42%, 질량35%감소하면서SEMI규격 등 주요 규격에 적합한 확장성을 갖춘 컨트롤러입니다。

이 바카라 설계를 개선하는 것 외에도 애프터 서비스의 품질을 개선하고 있습니다。예:、로봇에서 배터리를 제거、배터리 교체가 중단되었습니다。또、고객이 필요한 정보를 쉽게 얻을 수 있도록 고안했습니다、프로세스 분석 및 생산성 향상으로 이어질 수 있습니다。로봇과 컨트롤러 모두 조달 부품을 재검토하여 생산 계속 등 지속가능성을 의식한 바카라입니다。

*1: 당사 측정 조건에 따른 결과의 예

　반도체 제조 장치 내에서의 웨이퍼 등의 반송

(1) 판매 개시:2020년5월

(2) 판매 가격: 오픈 가격

【문의처】

주식회사 바카라 이기

로봇 사업부 클린 로봇 바카라부

코미야지 수리

TEL:093-645-7717FAX:093-645-7736