바카라 하는 법 리포트 2021 No.1
진동리스로 정밀한 움직임을 실현~반도체 웨이퍼 반송 바카라 하는 법

종래의 웨이퍼 반송 바카라 하는 법은 기어를 사용한 구조로 되어 있어, 반송시에 기어로부터 발생하는 진동으로 웨이퍼를 파지하는 핸드가 진동합니다. 메카니컬에 파지할 필요가 있어 웨이퍼에의 데미지나 파티클 발생의 과제가 있었습니다.

이런 상황에서 우리는 반도체 웨이퍼 반송용 클린 바카라 하는 법SEMISTAR-GEKKO MD124D(이하MD124D)를 제품화했습니다 저진동으로 보다 고정밀도의 반송이 요구되는 가운데, 당사 모터의 특징을 최대한 살려, 매끄럽고 정밀도가 높은 반송이 가능한 웨이퍼 반송 바카라 하는 법이 되었습니다.

엔드 이펙터를 고속으로 목적 위치에 가져가는 것만으로 웨이퍼가 미끄러지거나 떨어질 우려가 있습니다. 자세에서 웨이퍼에 가해지는 가감 속도를0.5G(1G=9.8m/s²) 이하로 억제하는 것을 실현.효율적으로 제어하는 ​​것으로 장치의 스루풋을 극대화했습니다.
また、DD모터 구동으로 함으로써 반복 위치 결정 정밀도를 2배 이상, 절대위치 정밀도를 종래 기종의 2배로, 종 진동, 진폭을1/2이하, 반송 정확도40μm을 실현했습니다.

우리의 바카라 하는 법 기술과 제어 기술을 융합하여 보다 낮은 진동으로 고정밀 이송 바카라 하는 법이 탄생했습니다.

모터의 위치 정보를 유지하는 배터리의 교환 작업은, 바카라 하는 법의 메인터넌스에서 과제가 되는 작업입니다.반도체 제조 라인에 투입된 웨이퍼 반송 바카라 하는 법은, 거의24시간365일 가동 중이므로 배터리 교체만으로는 생산을 중단할 수 없습니다.

MD124D는 기어리스에 의해 저진동과 고정밀도를 양립해, 반도체 제조 프로세스에 공헌할 수 있는 저 데미지 반송을 실현했습니다. 제63회 10대 신제품상^※(본상)'을 수상했습니다.

※십대 신제품 상이란
株式会社 日刊工業新聞社主催
その年に開発あるいは実用化した新製品を応募対象とし、モノづくりの発展や日本の国際競争力の強化に役立つ製品を選定し表彰

반도체 산업은 지금까지PC나 스마트폰/태블릿과 같은 요구에서 통신5G화, 자동차EV화, 자율주행 및 모든 제품IoT화와 데이터센터의 거대화 등, 더욱 확대해 나갈 것입니다. 분야로의 발전도 기대되고 있습니다.
야스카와 전기3힘을 함께 제공합니다.