2023년 4월 17일
당사는、SEMICON Japan 2022에서、반도체 반송용 로봇 출전。실시간 바카라 사이트、트랜지스터 집적도를 높이고 고성능화 및 고기능화를 실현하기 위해、전 공정의 제조 공정에서 미세화가 더욱 진행、현재 나노오더 반도체가 제조되고 있습니다。근년에、후공정 패키징 기술의 발전으로、추가 고성능 및 고기능화가 가능합니다。
당사는 이번 전시에서、미세화가 진행되는 반도체를 만드는 전 공정을 타겟으로 현재 확판중인 실시간 바카라 사이트 「SEMISTAR-GEKKO MD124D」라고、패키징 기술이 진화하고 있는 후 공정의 반도체 패키지 공정을 타겟으로 현재 개발 중인 기판 반송용 클린 로봇 'SEMISTAR-MU113D'、그리고、와이어 본더 등의 구동용으로 사용되는 AC 서보 드라이브 「Σ-X」를 활용한 “데이터에 의해 제조 장치의 고기능화를 실현”하는 데모 시스템의 전시를 실시했습니다。각 로봇의 특징을 소개합니다。
실시간 바카라 사이트를 만드는 과정은、일반적으로 도 1에 도시한 바와 같은 웨이퍼 제조 공정과 웨이퍼에 트랜지스터층을 형성하는 전 공정과 웨이퍼를 칩으로 분할、패키징 후 공정을 거쳐 실시간 바카라 사이트 칩이 만들어집니다。
그림 1 실시간 바카라 사이트를 만드는 공정과 당사에 대한 요구
그림 2 고급 패키징 공정
이러한 과정 중、특히 이전 단계에서는、궁극적이고 깨끗한 환경에서、고정밀도로 웨이퍼에 손상이 없는 반송을 원합니다、장치가 멈추지 않게 하려는 등의 요청이 있습니다。
또 최근에는、최신 패키징 기술(고급 패키지 기술)이 주목받고 있습니다、반도체 고집적、기능 향상을 실현하는 어드밴스드 패키징 공정(그림 2)이 이번 실시간 바카라 사이트CON Japan2022에서도 주목되었습니다。이 단계에서는、기판의 대형화에 대한 요구가 있음、그 기판을 깨끗하고 정밀하게 반송하는 로봇이 요구되고 있습니다。
그림 3 실시간 바카라 사이트STAR-GEKKO MD124D
이전 공정에서、궁극의 깨끗하고 정밀한 저진동을 실현하기 위해、로봇 구동부에서 감속기와 벨트를 없앤 다이렉트 드라이브 모터 구동의 실시간 바카라 사이트 SEMISTAR-GEKKO MD124D를 2019년에 개발·시장 투입했습니다。(그림 3)
이번、시장에서의 실적과 해당 로봇의 양산 공급이 가능해진 것을 근거로、실시간 바카라 사이트CON Japan 2022에서、보다 폭넓은 고객에게 소개했습니다。
감속기, 벨트 폐지、모터가 암을 직접 구동※1할 때、쓰레기를 내지 않고、암에서 엔드 이펙터로의 진동을 크게 줄이는、또한 다이렉트 드라이브의 특징인 고정밀도를 실현했습니다。
(자세한 내용은바카라 하는 법1 No.1진동리스로 정밀한 움직임을 실현~반도체 바카라 하는 법 반송 로봇참조)
그림 4 기존 모델과의 정확도 비교
이것으로、고처리량의 패시브 그립 핸드에 의한 웨이퍼 반송·좁은 슬롯 피치에의 웨이퍼 반송·고정밀도 웨이퍼 반송에 의한 수율 향상을 실현하고 있습니다。참고까지 기존 모델과의 정밀도 비교를 그림 4에 나타냅니다。
실시간 바카라 사이트CON Japan 2022에서、실시간 바카라 사이트STAR-GEKKO MD124D의 하나의 특징인 저진동을 지금까지 어려웠던 7mm의 좁은 슬롯에의 반송과 2장 동시 웨이퍼 반송을 시연했습니다。
실시간 바카라 사이트는 나노에서 옹스트롬으로의 시대로 바뀝니다。
이 시장에 기여할 수 있는 솔루션 중 하나가 다이렉트 드라이브의 로봇입니다。당사는、제품을 실시간 바카라 사이트 기술 로드맵에서 떨어뜨림、고객과 함께 문제를 해결할 수 있는 솔루션을 제안하고 실현함으로써、고객의 요청에 부응합니다。
그림 5 실시간 바카라 사이트STAR-MU113D
고급 패키징 공정 중、고밀도로 실장하기 위한 기판의 대형화가 수율 향상을 위한 키워드가 되었습니다。당사에서는、이 요청에 부응하는 이송 로봇을 개발했습니다。(그림 5)
SEMISTAR-MU113D는 실시간 바카라 사이트 로봇이 가지는 소 풋 프린트와 고정밀도·고속 반송 등의 특징을 그대로、최대 휴대용 질량 13㎏를 실현、패키지용 고밀도 실장 기판의 운반을 용이하게 했습니다。
또、우리의 웨이퍼 이송 실시간 바카라 사이트 외에、확실한 액정 반송 실시간 바카라 사이트을 적용、두께가 다른 기판(두께 = 약 0.2~3.0mm) 1대의 로봇만 사용、부품 교환 및 전환 조작 불필요한 이송 실시간 바카라 사이트을 개발했습니다。
실시간 바카라 사이트CON Japan 2022에서、510mm각의 기판 반송을 시연했습니다。또한、이 로봇은 2023년 제품화를 목표로 시장 평가 등을 진행하고 있습니다。
무어의 법칙으로 진행된 실시간 바카라 사이트의 새로운 고기능화 방향성、패키징이 닫혔습니다。패키징 기술의 진화、“회전·멈춤”의 모터 기술을 기구 부품이나 로봇으로 제공、고객과 함께해야 할 실시간 바카라 사이트의 진화를 올 야스카와 기술로 지원하겠습니다。
그림 6 시각화에 의한 예방 보전의 예
후 단계에서、와이어 본더 등은 AC 서보 모터로 구동됩니다。당사 AC 서보 드라이브 Σ-X를 적용하여、서보 모터가 센서가 됨、메카 진동, 부하 상태 등、각종 데이터의 수집, 시각화, 분석이 가능합니다。예:、장치 구동부의 메커니즘 마모、열화와 같은 미세한 변화、서보에서 감지、지금까지 눈치채지 못한 기기 변화를 디지털로 시각화。그림 6은 예방 보전에 활용한 예를 보여줍니다。
실시간 바카라 사이트CON Japan 2022에서、기어 기구·볼 나사 기구·캠 기구의 3개의 기구를 시연했습니다。
※1 감속기・벨트를 폐지、모터가 암을 직접 구동
손 부분 제외
이번에는、우리가 SEMICON Japan 2022에서 출전했습니다、전 공정을 타겟으로 한 실시간 바카라 사이트 「SEMISTAR-GEKKO MD124D」、후 공정의 반도체 패키지 공정을 타겟으로 한 패키지 기판 반송용 클린 로봇 「SEMISTAR-MU113D」、AC 서보 드라이브 Σ-X를 활용한 데이터의 가시화에 의해 제조 장치의 고기능화를 실현하는 시스템 예를 소개했습니다。
우리의 반송 로봇은 진화하고 있는 전 공정과 후 공정에 대응、고정도·고속 반송으로 수율 향상에 기여합니다。또、당사의 AC 서보 드라이브 Σ-X로 장치 변화를 가시화함으로써 예방 보전 등에 활용할 수 있습니다、생산성을 높일 수 있습니다。
실시간 바카라 사이트 시장은、통신의 5G화、자동차 EV화、모든 제품의 IoT화、데이터 센터 거대화 등으로、앞으로도 확대될 것으로 예상됩니다。이 실시간 바카라 사이트 시장의 성장에 따라、실시간 바카라 사이트 로봇 시장도 앞으로도 변화·발전해 나갈 것으로 예상하고 있습니다。
당사는、실시간 바카라 사이트 요구되는 요청 및 고객의 어려움에 대해、제품력、기술력을 최대한 활용、솔루션 제공。
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