실시간 바카라 사이트 보고서 ​​2023 No.3
고밀도 반도체 웨이퍼 및 기판 수송에 대한 도전
~ Semicon Japan 2022 ~ 검토

이러한 프로세스, 특히 이전 프로세스에서는 궁극적 인 깨끗한 환경에서는 웨이퍼의 손상이없는 고정밀 및 장치가 멈추지 않도록하는 것과 같은 요청이 있습니다.
최근에는 최신 포장 실시간 바카라 사이트 (고급 포장 실시간 바카라 사이트)이 초점을 맞추고 있으며, 현재 세미콘 일본 2022에서 반도체의 높은 통합과 기능을 달성하는 고급 포장 프로세스 (그림 2)도 주목을 끌었습니다. 이 과정에서는 더 큰 기판에 대한 요구가 있으며, 기판을 깨끗하게 운반하고 정확도가 높은 로봇이 필요합니다.

이전 과정에서, 이전 프로세스에서, 최종 청결, 고 정밀 및 낮은 진동, Semistar-Gekko MD124D, Semicor-Gekko MD124D, 반도체 웨이퍼를 운반하기위한 깨끗한 로봇 인 직접 드라이브 모터로 구동되는 로봇 드라이브 유닛에서 발전하고 시장에 출시되었습니다. (그림 3)
이번에는 Semicon Japan 2022의 더 넓은 범위의 고객에게 제품을 소개했으며 시장에서의 성과와 로봇이 대량 생산 및 공급에 대한 로봇의 가용성을 고려했습니다.
속도 감소기 및 벨트 폐지, 모터는 팔을 직접 구동합니다^*1이렇게함으로써 폐기물을 생성하지 않고 팔에서 끝 이펙터로 진동을 크게 줄이며 직접 드라이브의 높은 정확도 기능을 달성합니다.

이것은 고 처리량 패시브 그립 핸드가 웨이퍼를 전달하고, 웨이퍼를 좁은 슬롯 피치로 옮기고, 웨이퍼를 고정식 웨이퍼로 전송하여 수율을 향상시킬 수있게합니다. 참조를 위해 그림 4는 정확도를 이전 모델과 비교하는 것을 보여줍니다.
Semicon Japan 2022는 Semistar-Gekko MD124D의 특징 중 하나 인 낮은 진동을 보여 주었고, 지금까지 어려웠던 동시 웨이퍼 운송.

고급 패키징 프로세스에서 고밀도 장착을위한 보드 크기를 늘리는 것이 수율을 향상시키는 키워드입니다. 우리 회사는이 수요를 충족시키는 운송 로봇을 개발했습니다.
Semistar-Mu113D는 작은 발자국 및 고정식 및 고속 전송과 같은 반도체 웨이퍼 운송 로봇의 특징을 유지하지만 최대 13kg의 최대 페이로드를 달성하므로 고밀도 장착 보드를 패키지로 운반 할 수 있습니다.
우리는 웨이퍼 운송 실시간 바카라 사이트 외에도 입증 된 액정 운송 실시간 바카라 사이트을 적용하여 두께가 다른 두께를 사용하여 하나의 로봇 만 사용하여 부품 교체 또는 스위칭 작업이 필요하지 않은 운송 실시간 바카라 사이트을 개발했습니다 (두께 = 대략 0.2-3.0 mm).

사후 처리에서 와이어 본더 및 기타 장치는 AC 서보 모터에 의해 구동됩니다. AC 서보 드라이브 σ-x를 적용함으로써 서보 모터는 센서가되어 기계적 진동 및 하중 조건과 같은 다양한 데이터를 수집, 시각화 및 분석 할 수 있습니다.
Semicon Japan 2022는 기어 메커니즘, 볼 스크류 메커니즘 및 CAM 메커니즘의 세 가지 메커니즘을 시연했습니다.