바카라 하는 법 리포트 2023 No.9
바카라 하는 법 전기의 총 솔루션으로 세계 반도체를 지원
~SEMICON Japan 2023에 출전~

1. 소개

반도체는 트랜지스터의 집적도를 높이고 고성능화·고기능화를 실현하기 때문에 전공정의 제조 프로세스에서는 미세화가 한층 진행되고 있어 현재는 나노 오더의 반도체가 제조되고 있습니다. 이러한 하이 엔드 반도체에서는 작은 불순물이라도 제품 수율에 큰 그림자
당사는 파티클 발생을 억제하고 저진동으로 고정밀 웨이퍼 반송을 가능하게 하는 웨이퍼 반송 로봇을 제품화하고 있습니다. -X시리즈」³-Mechatronics(아이큐브 메카트로닉스)」를 실현하는 제품으로, 지속적인 생산 효율·품질 향상을 실현합니다.
SEMICON Japan 2023에서는, 「바카라 하는 법 전기의 토탈 솔루션으로 세계의 반도체를 지지한다」라고 하는 테마의 아래, 반도체 업계의 과제 해결 솔루션을 전시했습니다. 한 반도체 웨이퍼 반송용 진공용 로봇 「SEMISTAR-GEKKO
本レポートでは、SEMICON Japan 2023に出展した展示品を通して、当社の提案するソリューションを紹介します。

2. 반도체를 만드는 공정과 당사에 대한 요구에 대해

반도체를 만드는 공정은 일반적으로 도 1에 도시한 바와 같은 웨이퍼 제조 공정과 웨이퍼에 트랜지스터층을 형성하는 전 공정과, 웨이퍼를 칩으로 나누어 패키징을 하는 후 공정을 거쳐 반도체의 칩 가 만들어집니다.
환경
後工程では集積度を更に向上させるため、チップやパッケージを縦方向に積層することで集積度を向上させる三次元化が求められています。そのため、製造工程が増加しているので装置を監視して止まらないようにしたいとの要望や高精度動作の要求などがあります。
로봇

그림 1 반도체를 만드는 공정과 당사에 대한 요구

3. 저진동/논스트레스로 웨이퍼를 반송하는 로봇 기술

4. 서보로 시작하는 디지털 데이터 솔루션

고객의 생산성 향상을 실현하는 당사 서보 Σ-X는 업계 최고 수준의 모션 성능을 자랑하며 첨단 디지털 데이터 솔루션을 제공합니다. 필요한 동작 최적화 모니터를 모니터링하고 필요에 따라 운전 패턴을 변경하여 갑작스러운 장비 정지를 피할 수 있습니다.

그림 4 동작 최적화 모니터를 활용한 정지 회피

5. 결론

이번에는 전 공정을 타겟으로 한 반도체 웨이퍼 반송용 진공용 로봇 「SEMISTAR-GEKKO VD31HQF」와 대기용 클린 로봇 「SEMISTAR-GEKKO MD124D」, 후공정을 타겟으로 한 서보 「Σ-X FT56 "을 사용한 디지털 데이터 솔루션을 소개했습니다.
로봇
半導体市場は、通信の５G化、自動車の電動化、製品のIoT化、データセンターの巨大化などに伴い、今後も拡大傾向にあります。これらの動向から、半導体製造装置も進化し続けると予測されています。当社はこのような市場動向に対応し、半導体市場に求められる要望・お客さまのお困りごとに応えるため、製品力と技術力をいかしたソリューションを提供し続けます。
今後も、当社の製品と技術を半導体市場の成長に合わせて進化させ、市場の発展に貢献していくことを目指していきます。