본사 및 시설 투어
재료 조달
Yaskawa Group
지속 가능성
본사 및 시설 투어
재료 조달
Yaskawa Group
| 바카라 하는 법 분야 | 로봇 바카라 하는 법, 모터/액추에이터 바카라 하는 법, 드라이브 바카라 하는 법 |
| 바카라 하는 법 키워드 | 반도체, 고정밀, 생산성, 데이터 활용, I3-mechatronics, 로봇, 서보 |
2024 년 1 월 31 일
반도체는 고성능 및 기능을 달성하기 위해 트랜지스터의 통합을 증가시켜 이전 프로세스의 제조 공정이 점점 더 진행되었으며 나노 주문 반도체가 현재 제조되고 있습니다. 이러한 고급 반도체의 경우 소량의 불순물조차도 제품 수율에 큰 영향을 미칠 수 있으므로 진공 환경이나 깨끗한 대기 환경에서 제조해야합니다. 또한 후속 프로세스에서 3D 포장 바카라 하는 법이 채택되면서 다이 본딩 및 와이어 본딩과 같은 제조 공정이 더욱 세련되고 고성능, 고성능 서보 시스템이이를 달성하는 데 필수적입니다.
우리는 입자 생성을 억제하고 낮은 진동으로 고정밀 웨이퍼 전송을 가능하게하는 웨이퍼 전송 로봇을 상용화했습니다. 또한 고정밀 데이터를 수집하고 분석 할 수있는 σ-X 시리즈 AC 서보 드라이브는 업계의 최고 클래스 모션 성능과 디지털 데이터를 활용하는 솔루션 (예 : 오류 예측)을 제공합니다. 이 제품은 솔루션 개념 "I3-mechatronics"를 실현하고 생산 효율성과 품질을 지속적으로 개선합니다.
Semicon Japan 2023은 "Yaskawa Electric의 Total Solutions와 함께 전 세계의 반도체 지원"이라는 주제에 따라 반도체 산업의 문제를 해결하기위한 솔루션을 전시했습니다. 우리는 청결, 진동 감소 및 높은 정확도, 그리고 "Semistar-Gekko MD124d"깨끗한 로봇을 개선 한 반도체 웨이퍼 운송을위한 "Semistar-Gekko VD31HQF"진공 로봇을 도입했습니다. 또한 업계에서 가장 높은 모션 성능을 보유하고 디지털 솔루션을 실현하는 서보 드라이브 "σ-x FT56"을 사용하여 시스템을 도입했습니다.
이 보고서는 Semicon Japan 2023에서 전시 한 전시회를 통해 제안하는 솔루션을 소개합니다.
반도체 제조 공정은 일반적으로 웨이퍼 제조 공정에 의해 일반적으로 제조된다.
이러한 프로세스에서 이전 프로세스에는 가스가없는 진공 환경과 반도체의 소형화를 수용 할 수있는 궁극적 인 깨끗한 환경이 필요합니다. 특히, 미세 가공 및 박막 형성에 대한 수요가 증가함에 따라 진공 과정의 중요성이 증가했습니다. 이러한 이유로, 손상없이 웨이퍼를 더 높은 정확도와 고속으로 운반 할 필요가있다.
이후의 프로세스에서 통합 정도를 더욱 향상시키기 위해서는 칩과 패키지를 수직으로 쌓아서 통합 정도를 높이려면 3 차원화가 필요합니다. 결과적으로 제조 공정이 증가함에 따라 장비가 중단되는 것을 방지하기 위해 장비를 모니터링하라는 요청이 있으며 고정밀 운영 요청이 있습니다.
이러한 요청 및 요청을 충족시키기 위해 진공 및 깨끗한 환경을 처리하는 로봇 바카라 하는 법을 도입하고, 정확도가 높고 진동이 적은 웨이퍼와 장비를 중지하지 않는 σ-x 서보를 사용하여 디지털 솔루션을 제공합니다.
그림 1 반도체 제조 공정 및 회사의 요구
그림 2 진공 로봇
Semistar-Gekko vd31hqf
표 1 : 진공 로봇
＊1 : 측정 조건에 따른 결과의 예
이전 프로세스에서 진공 환경이 필요한 프로세스에서 웨이퍼 운송 정확도를 개선하는 것 외에도, 우리는 저지대 직접 모터 및 금속 벨트를 사용하여 높은 수준의 직접 모터 및 금속 벨트를 사용하여 전력을 통과하는 반도체 웨이퍼 운송을위한 Semistar-Gekko VD31HQF를 상용화했습니다. 오염. (그림 2)
두 개의 팔에는 동시에 양쪽에 2 개의 웨이퍼가 있으며 시간당 약 370 개를 운반 할 수 있습니다. 금속 벨트를 사용하면 유기 오염을 일으키지 않고 모터를 전송할 수 있으며 회사 자체의 고 진공 진공 직접 구동 모터는 높은 진공지지를 허용합니다. 가장 큰 특징은 회사가 제작 한 고해상도 진공 엔코더가 고정밀 운반을 허용한다는 것입니다. 표 1은 진공 로봇의 사양을 보여줍니다.
Semicon Japan 2023은 손에 놓인 웨이퍼가 수정되어 배치되는 연속 전송을 시연했습니다.
그림 3 대기를위한 깨끗한 로봇
Semistar-Gekko MD124D
표 2 공기를위한 깨끗한 로봇
＊2 : 측정 조건에 따른 결과의 예
이전 과정에서, 궁극적 인 청결, 높은 정밀성 및 낮은 진동을 달성하기 위해, 우리는 직접 드라이브 모터로 구동되는 반도체 웨이퍼를 운반하기위한 깨끗한 대기 로봇 인 Semistar-Gekko MD124D를 상업화하여 장비 감소기와 로봇 드라이브 유닛을 회복시킵니다. (그림 3)
기어가 감소하고 벨트 구동 로봇으로 진동이 비교적 높기 때문에 웨이퍼가 손에 영향을 미치거나 적용하는 것을 방지하기 위해 흡입 유형 또는 에지 그립 유형 엔드 이펙터가 필요했습니다.
기어 감속기와 벨트를 폐지함으로써, 모터가 팔을 직접 구동하는 직접 드라이브를 사용하고, 팔에서 엔드 이펙터로의 진동이 크게 줄어들고, 직접 구동의 높은 정확도 특징은 오염없이 달성됩니다. 이를 통해 수동 그립 손으로도 고 처리량 웨이퍼 운송이 가능합니다. 또한 좁은 슬롯 피치 및 고정밀 웨이퍼 운송으로 웨이퍼 운송을 지원하여 개선 된 수율을 달성합니다. 표 2는 공기 청정 로봇의 사양을 보여줍니다.
Semicon Japan 2023은 동시에 두 개의 웨이퍼를 동시에 전송하여 좁은 7mm 슬롯으로 운반하는 것을 보여주었습니다. 시간당 약 350 개의 웨이퍼를 운반 할 수 있습니다.
고객 생산성을 달성 한 Servo σ-X는 업계 최고의 모션 성능을 자랑하고 고급 디지털 데이터 솔루션을 제공합니다. 도 4에 도시 된 바와 같이, σ-x의 작동 최적화 모니터를 모니터링하고 필요에 따라 작동 패턴을 변경함으로써 갑작스런 장치 중단을 피할 수있다.
그림 4 작동 최적화 모니터를 사용한 회피 중지
그림 5 σ-x ft56 사양이있는 서보 시스템
또한 특수 사양 σ-x ft56을 사용하면 사다리 프로그램을 사용하여 서보 및 모션 제어 내에서 외부 센서의 데이터를 직접 분석 할 수 있습니다. 외부 센서의 데이터 처리 및 모션 제어는 일반적으로 컨트롤러에 의해 수행되지만 이는 처리 기간 및 네트워크 지연에 의해 영향을받을 수 있으며, 이는 정확도가 좋지 않을 수 있습니다. 그러나 σ-x FT56은 최대 125μs의 고속 처리를 사용하여 매우 정확한 데이터를 신속하게 분석하고이를 사용하여 서보 내에서 모션 제어를 수행합니다.
그림 5는 거리 센서 데이터가 σ-x ft56으로 가져 오는 방법을 보여주고 해당 정보를 기반으로 모션 명령이 작성됩니다. 일련의 프로세스는 서보만으로 완료되므로 컨트롤러의 하중을 줄이면서 고정밀 모션 제어가 가능합니다.
Semicon Japan 2023은 서보를 사용하여 기준점과 물체 사이의 거리를 측정하고 σ-x ft56을 사용하여 기준점이 변경 될 때 일정하게 유지되는 물체의 거리를 제어하기 위해 거리 센서를 사용하여 시연했습니다. 이 데모는 기존의 컨트롤러 의존적 방법에 비해보다 정확한 제어가 가능하다는 것을 보여 주었다. 당사의 σ-x FT56은 고급 데이터 분석과 정밀 모션 제어를 결합하여 고정밀 모션 제어를 자율적으로 실행할 수 있습니다.
이번에는 이전 프로세스를 대상으로하는 "Semistar-Gekko VD31HQF"반도체 WAFER 전송을위한 Semistar-Gekko VD31HQF "진공 로봇을 사용하여 디지털 데이터 솔루션을 도입했습니다.
우리의 반도체 컨베이어 로봇은 진화하는 사전 프로세싱 프로세스와 호환되며 고정밀 및 고속 전송을 갖는 수확량을 개선하는 데 기여합니다. 또한 AC 서보 드라이브 인 "σ-x ft56"을 사용하면 장치 변경을 시각화하고 고도로 정확한 분석을 수행 할 수있어 고정밀 모션 제어를 달성하고 생산성을 향상시킬 수 있습니다.
5G 기반 통신, 전기 구동 자동차, IoT 기반 제품 및 대형 데이터 센터로 인해 반도체 시장이 향후 증가하고 있습니다. 이러한 추세를 바탕으로 반도체 제조 장비가 계속 발전 할 것으로 예상됩니다. 이러한 시장 동향에 따라 제품 기능과 바카라 하는 법 기능을 활용하여 반도체 시장의 요구를 충족시키고 고객의 요구를 충족시키는 솔루션을 계속 제공 할 것입니다.
우리는 반도체 시장의 성장에 따라 시장의 발전에 기여하여 제품과 바카라 하는 법을 계속 발전시키는 것을 목표로하고 있습니다.
저작권 © 2003-2025 Yaskawa Electric Corporation.
