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| 바카라 하는 법 분야 | 로봇 바카라 하는 법,모터 액추에이터 바카라 하는 법,드라이브 바카라 하는 법 |
| 바카라 하는 법 키워드 | 반도체,고정밀도,생산성 향상,데이터 활용,i3-Mechatronics,로봇,바카라 하는 법 |
2024년 1월 31일
반도체는 트랜지스터의 집적도를 높이고 고성능화·고기능화를 실현하기 위해、전 공정의 제조 공정에서 미세화가 더욱 진행되고 있습니다、현재 나노오더 반도체가 제조되고 있습니다。이런 하이 엔드 반도체에서는、작은 불순물이라도 제품 수율에 큰 영향을 미치기 때문、진공 환경 및 대기 중 깨끗한 환경에서 제조해야 합니다。또、후 단계에서는、3D 패키징 기술 채택과 함께、다이 본딩 및 와이어 본딩과 같은 제조 공정이 더욱 정밀해짐、이를 실현하기 위해서는 고성능의 고성능 바카라 하는 법 시스템이 필수적입니다。
당사는、파티클 발생 억제、저진동으로 고정밀 웨이퍼 반송을 가능하게 하는 웨이퍼 반송 로봇을 제품화하고 있습니다。또、고정밀 데이터 수집 및 분석이 가능한 AC 서보 드라이브 'Σ-X 시리즈'를 제품화、업계 최고 수준의 모션 성능과 디지털 데이터를 활용한 바카라 하는 법(고장 예지 등)을 양립하고 있습니다。이 제품들은、우리가 제안한 자동화에 디지털 데이터 활용을 추가한 바카라 하는 법 개념 'i3-Mechatronics(아이큐브 메카트로닉스)」를 실현하는 제품으로、지속적인 생산 효율성과 품질 향상을 실현。
SEMICON Japan 2023에서、"바카라 이기의 토탈 바카라 하는 법으로 세계 반도체를 지원한다"라는 주제 아래、반도체 산업 문제 해결 바카라 하는 법을 전시했습니다。청정도 향상 및 진동 감소、고정도를 실현한 반도체 웨이퍼 반송용 진공용 로봇 「SEMISTAR-GEKKO VD31HQF」와 대기용 클린 로봇 「SEMISTAR-GEKKO MD124D」를 소개했습니다。또、산업 최고 수준의 모션 성능을 보유、디지털 바카라 하는 법을 구현하는 서보 드라이브 'Σ-X FT56'을 사용한 시스템도 소개했습니다。
이 보고서에서는、SEMICON Japan 2023에 전시된 전시품을 통해、우리가 제안한 바카라 하는 법 소개。
반도체를 만드는 과정은、일반적으로 도 1에 도시한 바와 같은 바카라 하는 법 제조 공정과 바카라 하는 법에 트랜지스터층을 형성하는 전 공정과、바카라 하는 법를 칩으로 나누어 패키징을 한 후 공정을 거쳐 반도체 칩이 만들어집니다。
이 과정 중、이전 단계에서는、반도체의 미세화에 대응하는 가스가 없는 진공 환경이나 궁극의 깨끗한 환경이 필요합니다。특히、미세 가공 및 박막 형성 수요 증가로、진공 공정의 중요성이 증가하고 있습니다。이 때문에、더 높은 정확성과 고속으로 바카라 하는 법로 데미지가 없는 반송을 하고 싶은 등의 요망이 있습니다。
후 공정에서는 집적도를 더욱 향상시키기 위해、칩과 패키지를 세로로 적층하여 집적도를 높이는 3차원화가 요구되고 있습니다。그러므로、제조 공정이 증가하고 있기 때문에 장치를 감시하고 멈추지 않으려는 요구나 고정밀 동작 요구 등이 있습니다。
이 요청과 요구에 부응하기 위해、진공 환경이나 깨끗한 환경에 대응하여 고정밀도·저진동으로 웨이퍼를 반송하는 로봇 기술이나、장치를 멈추지 않는 Σ-X 서보를 이용한 디지털 바카라 하는 법 소개。
그림 1 반도체를 만드는 공정과 당사에 대한 요구
그림 2 진공용 로봇
SEMISTAR-GEKKO VD31HQF
표 1 진공용 로봇
*1: 당사 측정 조건에 따른 결과의 예
이전 공정의 진공 환경이 필요한 공정에서、웨이퍼의 이송 정밀도 향상 외에도、저진동、고진공、저항과 같은 고객의 요구에 부응하기 위해 고진공 다이렉트 드라이브 모터와 금속 벨트로 동력을 전달하는 바카라 하는 법 진공용 로봇 SEMISTAR-GEKKO VD31HQF를 제품화하고 있습니다。(그림 2)
쌍팔 팔에 한 면의 두 개의 바카라 하는 법를 동시에 잡아라、1시간에 약 370장을 운반할 수 있습니다。금속 벨트를 채택하여 유기 오염물을 배출하지 않고 모터의 동력을 전달할 수 있음、자사의 고진공 다이렉트 드라이브 모터로 고진공 대응이 가능하다는 특징을 가지고 있습니다。최대의 특징은 자사의 고해상도 진공 엔코더로 높은 정밀도로의 반송을 실현할 수 있다는 것입니다。진공 로봇의 사양을 표 1에 나타냅니다。
SEMICON Japan 2023에서、핸드에 어긋나 놓여진 바카라 하는 법를 보정하여 탑재(AWC)하는 연속 반송을 시연했습니다。
그림 3 대기용 클린 로봇
SEMISTAR-GEKKO MD124D
표 2 대기용 클린 로봇
*2: 당사 측정 조건에 따른 결과의 예
이전 단계에서、궁극의 깨끗하고 정밀한 저진동을 실현하기 위해、로봇 구동부에서 감속기와 벨트를 제거한 다이렉트 드라이브 모터 구동 바카라 하는 법 대기용 클린 로봇 SEMISTAR-GEKKO MD124D를 제품화하고 있습니다。(그림 3)
감속기・벨트 구동식 로봇에서는 비교적 진동이 커지기 때문에、손으로 바카라 하는 법가 어긋나거나 충격을 주지 않기 위해 흡착식 또는 에지 그립식 엔드 이펙터가 필요했습니다。
감속기, 벨트 폐지、모터가 암을 직접 구동하는 다이렉트 드라이브를 채택하여、오염되지 않음、암에서 엔드 이펙터로의 진동을 크게 줄일 수 있습니다、다이렉트 드라이브의 특징인 고정밀도를 실현했습니다。이것으로、패시브 그립 핸드도 높은 처리량의 바카라 하는 법 이송을 실현합니다。좁은 슬롯 피치로의 바카라 하는 법 반송 · 고정밀 바카라 하는 법 반송에도 대응、수율 향상을 실현 중。대기용 클린 로봇의 사양을 표 2에 나타냅니다。
SEMICON Japan 2023에서、SEMISTAR-GEKKO MD124D의 하나의 특징인 저진동을 사용、동시 2장의 바카라 하는 법 이송과、지금까지 어려웠던 7mm 좁은 슬롯으로 이송을 시연했습니다。1시간에 약 350장의 바카라 하는 법를 운반할 수 있습니다。
고객의 생산성 향상을 실현하는 당사 서보 Σ-X는、산업 최고 수준의 모션 성능을 자랑、첨단 디지털 데이터 바카라 하는 법 제공。그림 4와 같이、Σ-X로 동작 최적화 모니터 모니터링、필요한 경우 운전 패턴을 변경하여、돌발적인 기기 정지를 피할 수 있습니다。
그림 4 동작 최적화 모니터를 활용한 정지 회피
그림 5 Σ-X FT56 사양의 바카라 하는 법 시스템
또、특별 사양의 Σ-X FT56에서는、외부 센서 데이터를 바카라 하는 법 내에서 직접 분석、래더 프로그램에서 모션 제어를 수행할 수 있습니다。일반、외부 센서의 데이터 처리 및 모션 제어는 컨트롤러에서 수행되지만、이것은 처리주기 및 네트워크 지연에 영향을 미칩니다、정밀도가 떨어질 수 있습니다。그러나、Σ-X FT56은 가장 빠른 125μs의 고속 처리로、정확도가 높은 데이터를 신속하게 분석、이것을 사용하여 바카라 하는 법 내에서 모션 제어를 실행합니다。
그림 5、거리 센서 데이터를 Σ-X FT56으로 가져오기、그 정보를 바탕으로 모션 명령을 작성하는 모습을 나타냅니다。일련의 프로세스가 바카라 하는 법 단위로 완료되기 때문에、컨트롤러 부하를 줄이면서、고정밀도 모션 제어 가능。
SEMICON Japan 2023에서、거리 센서에서、기준점과 바카라 하는 법에서 움직이는 물체의 거리를 측정、Σ-X FT56 활용、기준점을 변경할 때 대상물의 거리를 일정하게 유지하도록 제어하는 데모를 실시했습니다。이 데모는、컨트롤러에 의존하는 기존 방법에 비해、보다 정밀한 제어가 가능함을 나타냈습니다。우리의 Σ-X FT56、고급 데이터 분석과 정밀한 모션 제어를 결합、고정밀 모션 제어를 자율적으로 실행할 수 있는 제품。
이번에는、전 공정을 타겟으로 한 반도체 웨이퍼 반송용 진공용 로봇 「SEMISTAR-GEKKO VD31HQF」와 대기용 클린 로봇 「SEMISTAR-GEKKO MD124D」、후공정을 타겟으로 한 서보 'Σ-X FT56'을 이용한 디지털 데이터 바카라 하는 법을 소개했습니다。
당사의 반도체 반송 로봇은 진화하고 있는 전 공정에 대응、고정밀도·고속 반송으로 수율 향상에 공헌합니다。또、우리의 AC 바카라 하는 법 드라이브 'Σ-X FT56'은、장치 변화를 시각화하고 정밀도가 높은 분석을 할 수 있기 때문에、정밀한 모션 제어 가능、생산성을 높일 수 있습니다。
반도체 시장은、통신의 5G화、자동차 전기화、제품의 IoT화、데이터 센터의 거대화 등에 따라、앞으로도 확대 경향이 있습니다。이런 동향에서、반도체 제조 장치도 계속 발전할 것으로 예상됩니다。우리는 이러한 시장 동향에 대응、반도체 시장에 요구되는 요청 및 고객의 어려움에 대응하기 위해、제품과 기술력을 활용한 바카라 하는 법을 계속 제공。
앞으로도、제품과 바카라 하는 법을 반도체 시장의 성장에 맞춰 진화、시장 발전에 기여할 것을 목표로 합니다。
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