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진동리스로 정밀한 움직임을 실현~반도체 바카라 하는 법 반송 로봇

종래의 바카라 하는 법 반송 로봇은 기어를 사용한 구조로 되어 있습니다、반송 시 기어에서 발생하는 진동으로 바카라 하는 법를 파지하는 핸드가 진동합니다。진동으로 이송 중에 바카라 하는 법가 미끄러지므로 기계적으로 파지해야 함、바카라 하는 법에 손상이나 파티클 발생 문제가 발생했습니다。또한기어에 의한 백래쉬나 히스테리시스가 반송 정밀도를 악화시키는 요인이기도 했습니다。

이런 상황에서、당사는、반도체 바카라 하는 법 이송용 클린 로봇 SEMISTAR-GEKKO MD124D(이하MD124D)를 제품화했습니다。저진동으로 보다 정밀한 반송이 요구되는 중、모터의 특징을 최대한 활용、매끄럽고 정밀한 반송이 가능한 바카라 하는 법 반송 로봇이 되었습니다。

엔드 이펙터를 고속으로 목표 위치로 가져가는 것만으로 바카라 하는 법가 미끄러지거나、떨어질 우려가 있습니다。이를 방지하기 위해 바카라 하는 법에 가해지는 가감 속도를 일정하게 하는 제어를 포함했습니다。모든 암 자세에서 바카라 하는 법에 가해지는 가감 속도0.5G(1G=9.8m/s²) 이하로 억제를 실현。효율적으로 제어하여 기기 처리량을 극대화했습니다。
또한DD모터 구동으로 만든 것、반복 위치 결정 정밀도 2배 이상、절대위치 정밀도를 기존 모델의 두 배로、세로 진동、진폭1/2이하, 반송 정확도40μm을 실현했습니다.

우리의 바카라 하는 법 기술과 제어 기술을 융합、보다 낮은 진동으로 고정밀 이송 바카라 하는 법이 탄생했습니다。

모터 위치 정보를 보관하는 배터리 교체 작업、로봇의 유지보수에서 과제가 되는 작업입니다。반도체 제조 라인에 투입된 바카라 하는 법 반송 로봇、거의24시간365일 전체 가동 중、배터리 교체만으로 생산을 중단할 수 없습니다。MD124D는 배터리가 필요 없음、교체 수고와 예비품 비용 절감을 실현했습니다。

MD124D는 기어리스에 의해 저진동과 고정밀도를 양립합니다、반도체 제조 공정에 기여할 수 있는 낮은 피해 전달을 실현했습니다。또한배터리가 없어 유지보수성 향상。이것이 평가됨、'제163회 10대 신제품상^※(본상)'을 수상했습니다.

※십대 신제품 상이란
주식회사 일간공업신문사 주최
그 해에 개발 또는 실용화된 신제품을 신청할 수 있습니다、제조의 발전과 일본의 국제 경쟁력 강화에 도움이 되는 제품을 선정하고 표창

반도체 산업은 지금까지PC나 스마트폰/태블릿과 같은 요구에서 통신5G화, 자동차EV화, 자율주행 및 모든 제품IoT화 및 데이터 센터 거대화 등、더 확대될 것입니다。이 반도체 산업의 요청에 따라、반도체 로봇 시장도 대기·진공 환경 하에서의 바카라 하는 법 반송뿐만 아니라、반도체 패키지와 같은 분야로의 발전도 기대되고 있습니다。
당사、반도체 바카라 하는 법은 바카라 이기의 모션 바카라 하는 법 기술을 구사、고객의 어려움을 계속 해결하는 솔루션을 판매력·제품력·생산력3세 가지 힘을 함께 제공합니다.