바카라 하는 법 보고서 ​​2023 No.9
Yasukawa Electric의 전체 솔루션에서 세계의 바카라 하는 법 지원.
-Semicon Japan 2023 ~

모터 액추에이터 바카라 하는 법, 드라이브 바카라 하는 법
.3-Mechatronics, 로봇, 서보

2024 년 1 월 31 일

. 소개

. 바카라 하는 법는 트랜지스터 통합을 증가시키고 성능을 향상시키기 위해 더 미세합니다. 이러한 고급 바카라 하는 법는 제품 수율에 약간의 영향을 미치며 대기 중에서 진공 환경과 깨끗한 환경을 제조해야합니다.
. 또한 고정밀 데이터를 수집하고 분석 할 수있는 AC 서보 드라이브 "σ-X 시리즈"는 상용화되었으며 업계의 최고 클래스 및 디지털 데이터를 사용하여 솔루션 (예 : 실패 예측)이 있습니다.3-Mechatronics (I Cube Mechatronics)를 실현하는 제품입니다.
. Semicon Japan 2023은 "Yasukawa Electric의 전체 솔루션에서 세계 바카라 하는 법 지원"이라는 주제에 따라 바카라 하는 법 산업에서 솔루션 솔루션을 전시했습니다. 우리는 깨끗한 수준의 청결, 진동 감소 및 높은 정확도, 대기 청정 로봇 "Semistar-Gekko MD124D"를 달성 한 바카라 하는 법 웨이퍼 운송에 대한 "Semistar-Gekko VD31HQF"를 도입했습니다.
本レポートでは、SEMICON Japan 2023に出展した展示品を通して、当社の提案するソリューションを紹介します。

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後工程では集積度を更に向上させるため、チップやパッケージを縦方向に積層することで集積度を向上させる三次元化が求められています。そのため、製造工程が増加しているので装置を監視して止まらないようにしたいとの要望や高精度動作の要求などがあります。

3. 낮은 진동으로 웨이퍼를 운반하는 로봇 바카라 하는 법

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1 : 측정 조건에서 결과의 예

웨이퍼 운송의 정확도를 개선하는 것 외에도 높은 진공 직접 드라이브 모터 및 금속 벨트가있는 전력을 향상 시켜서 진동, 높은 고객의 요구를 충족시킵니다. 진공 및 낮은 함량은 진공 로봇 Semistar-Gekko VD31HQF를위한 전송 된 바카라 하는 법 웨이퍼 운송입니다. (그림 2)

SEMICON Japan 2023では、ハンド上にずれて置かれたウエハを補正して載置(AWC)する連続搬送を実演しました。

분위기 깨끗한 로봇 Semistar-Gekko MD124d
그림 3 대기를위한 깨끗한 로봇


표 2 대기를위한 깨끗한 로봇 표 2 대기를위한 깨끗한 로봇
2 : 측정 조건에서 결과의 예

이전 프로세스에서는 최종 깨끗하고 높은 정확도 및 낮은 진동을 달성하기 위해 로봇 드라이브 부분에서 직접 드라이브 모터의 직접 드라이브 모터 드라이브를 달성하기 위해 바카라 하는 법 웨이퍼 운송 SEMISTAR-GEKKO MD124D가 상용화됩니다. (그림 3)


4. 서보에서 시작하는 디지털 데이터 솔루션

. 도 4에 도시 된 바와 같이, σ-x의 작동 최적화 모니터를 모니터링하고 필요에 따라 작동 패턴을 변경하면 갑작스런 정지 장비를 피할 수 있습니다.

. 그림 4 최적화 모니터를 사용한 작동 회피

σ-x ft56 서보 시스템
그림 5 σ-x ft56 서보 시스템



今回は、前工程をターゲットにした半導体ウエハ搬送用の真空用ロボット「 Semistar-Gekko vd31hqf 」と大気用クリーンロボット「 Semistar-Gekko Md124d 」、後工程をターゲットにしたサーボ「 σ-x ft56 사용한 디지털 데이터 솔루션 도입.

半導体市場は、通信の5G化、自動車の電動化、製品のIoT化、データセンターの巨大化などに伴い、今後も拡大傾向にあります。これらの動向から、半導体製造装置も進化し続けると予測されています。当社はこのような市場動向に対応し、半導体市場に求められる要望・お客さまのお困りごとに応えるため、製品力と技術力をいかしたソリューションを提供し続けます。
今後も、当社の製品と技術を半導体市場の成長に合わせて進化させ、市場の発展に貢献していくことを目指していきます。